CF4泄漏检测基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱检测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，可对CF4的中红外基本光谱吸收峰进行研究。两者的结合提供了足够的灵敏度，可以毫不延迟地检测到小浓度的CF4飞溅或溢出，同时确保了超高的稳定性。重新校准周期持续数月甚至数年，从而大大减低了总体持有成本。

　　高灵敏度的CF4泄漏检测可以在生产环境中快速的探测污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收检测可以确保长期的高稳定性。准确，可靠且维护成本低的洁净室污染控制，快速的响应时间以捕获浓度的突然增加，独立的操作系统，内置的气体交换泵，无消耗品或化学试剂，光路短，单点校准也可达到一定动态范围，直接吸收测量，无漂移，高选择性，并且不受乙醛和其他VOC的干扰。
 

　　1、响应时间：取决于用户定义的通道积分时间CIT和气体冲洗设置。根据平均时间和采样设置，它从10秒到几分钟不等。

　　2、监测下限：小于0.1ppb。

　　3、动态范围：大于5个数量级（检测下限的100,000倍）。

　　4、重复性：在操作条件下，校准浓度的重复性小于1％。

　　5、精度：校准浓度高于5％，这受校准气体精度的限制。

　　6、温度稳定性：CF4泄漏检测不会由于工作温度范围内的环境温度变化而引起漂​​移。

　　7、压力稳定性：样品在压力范围内的压力变化不会引起漂移。