​CF4泄漏分析仪基于超灵敏的悬臂梁增强光声光谱检测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，致力于CF4的中红外基本光谱吸收峰。两者的结合提供了足够的灵敏度，可以毫不延迟地检测到小浓度的CF4飞溅或溢出，同时确保了超高的稳定性。重新校准周期持续数月甚至数年，从而大大降低了总体拥有成本。

　　​CF4泄漏分析仪超灵敏的专业光学麦克风，基于微电机悬臂梁传感器，结合激光干涉仪来测量悬臂梁的微观运动，光源配置：分布式反馈量子级联激光器，样品电池温度稳定在50℃。
 

　　CF4泄漏分析和检测要求：洁净室需要控制污染物的水平。准确，可靠和低维护的洁净室空气分子污染物AMC控制可以显着提高生产率。高度灵敏的GASERAONECF4可以快速检测生产环境中的污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收检测可以确保长期的高稳定性。GASERAONECF4可以与其他检测仪器集成在一起，例如机柜中的颗粒物监测仪。

　　​CF4泄漏分析仪可以测量哪些参数？

　　1、响应时间：取决于用户定义的通道积分时间CIT和气体冲洗设置。根据平均时间和采样设置，它从大约15秒到几分钟不等。

　　2、监测下限：N2O2ppb，CH410ppb。

　　3、动态范围：5个数量级（检测下限的100,000倍）。

　　4、重复性：在操作条件下，校准浓度的重复性小于1％。

　　5、准确度：在校准浓度下优于5％，这受校准气体的准确性限制。

　　6、温度稳定性：工作温度范围内的环境温度变化不会引起漂移。

　　7、压力稳定性：样品在压力范围内的压力变化不会引起漂移。