示踪气体是在研究空气流动时可以与空气混合的气体的总称，可以在非常低的浓度下测量而本身没有任何变化。示踪气体包括氯仿、二氧化氯、过氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡气和汞。由于示踪气体的总量非常小，它们的变化范围可能非常大。空气成分中变化最大的是二氧化碳，自工业化开始以来，其浓度增加了约40%。

　　

　　示踪气体监测系统提供部件排空、测试压力、总泄漏测试、示踪气体回填，并执行排气过程。集成了一个易于跟踪的气体泄漏测试系统，它可以与大多数质谱仪通信，并为过程控制提供测试结果管理。此外，可以控制泄漏测试系统中使用的基本机器功能，如工具运动控制和条形码扫描。如果需要更复杂的机器排序，它可以与基于PLC或PC的控制系统集成，提供更过程控制。
 

　　

　　用示踪气体监测系统检测泄漏的操作步骤如下。

　　

　　1、将示踪气体压力调节阀调整到适当的压力。如果将调整好的喷嘴浸入水中，每秒钟会产生2-5个氦气泡。

　　

　　2、在任何时候，首先检查真空系统中要消除的部件与质谱仪检漏仪的测试气口之间的所有管道（如配件、管道等）的连接情况。

　　

　　3、从系统或部件的最高点往下开始检测，以减少气体漂移。记住，氨气是一种非常轻的气体，会上升。

　　

　　4、大面积漏气检测。

　　

　　在所有表面、接头和管道上快速移动探头，在大面积上喷氦气。如果检漏仪没有反应，说明系统是真空密封的，没有漏气。如果检漏仪有反应，等待检漏仪恢复（排空氦气），然后确定泄漏位置。

　　

　　注意：喷洒过多的氦气会增加真空室中空气的背景含量，导致质谱仪检漏仪的基数增加。如果过量的氨气被喷到真空室外，可以用压缩空气来驱散它。如果真空系统中的氨气已经饱和，应使用氮气或氩气进行冲洗。

　　

　　5、缩小泄漏范围的方法（泄漏的局部位置）。