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AMC在线监测离子迁移谱
EDK 4500
AMC在线监测离子迁移谱技术具有灵敏度高(ppb范围)、响应速度快(毫秒范围)、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中,我们展示了使用IMS检测氯化氢(HCl)和氟化氢(HF)的灵敏度和快速响应。
关键词:离子迁移谱IMS,总酸铵根监测,磷酸根检测,AMC在线监测,痕量氯化氢氟化氢监测
HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol(HCl)和20 g/mol(HF)的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中,需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。
采样点 | 1-16-30-45 |
分析设置 | EIMS可检测的NH3、HCl、HF、VOC和其他 |
标准范围 | 0-50,0-100 ppb |
采样管的最大长度 | 130米 |
设备条件 | 干燥压缩空气,110-115-230 Vac 50/60 Hz |
通讯接口 | 以太网端口、Modbus、Profibus |
安装 | 19" 机架安装 |
掺杂物 | 取决于检测到的气体 |
软件用户界面 | 内置控制软件 |
操作温度 | 5-45℃ |
尺寸 | 机架19"4U L 500mm |
重量 | 取决于配置 |