AMC在线监测离子迁移谱

EDK 4500

AMC在线监测离子迁移谱技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测氯化氢（HCl）和氟化氢（HF）的灵敏度和快速响应。

关键词：离子迁移谱IMS，总酸铵根监测，磷酸根检测，AMC在线监测，痕量氯化氢氟化氢监测

HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。