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示踪气体法半导体制造设备通风性能监测系统
参考价:¥600000

型号:DKG-TGV301

更新时间:2024-03-27  |  阅读:3066

详情介绍

示踪气体法半导体制造设备通风性能监测系统概述

随着能量效率的提高,以及排气通风设施的物理限制变得更加明显,半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理,可能会造成操作人员的伤亡,引起设备乃至整个工厂的烧毁。

半导体行业需要测量机台通风效率,满足SEMI S6 Ventilation行业标准。

SEMI S6 Ventilation是使用示踪气体测定逸散性排放的试验方法,考量含 HPM或易燃易爆气体的半导体装备通风效率。

SF6作为示踪气体模拟泄漏气体,因此,对SF6检测仪的检测精度要求较高



检测方案

高灵敏度的光声光谱气体检测系统,是一套用于在线实时测量示踪气体浓度变化,从而评估通风效率的准确、可靠、高效的解决方案。

光声光谱气体分析仪可以同时检测最多9种气体和水汽,检测气体种类是从一个超过300种的气体数据库中由用户选择。除了SF6等示踪气体之外,还可以同时检测室内其它的气体浓度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,为评价半导体机台通风效率提供更多的数据支持。

整个测量系统由光声光谱气体检测仪、多点采样器、专用软件组成;在用户要求的情况下,还可以集成释放装置MFC,管路等一体化解决方案。


示踪气体法半导体制造设备通风性能监测系统特性

  • 光声光谱法原理,悬臂梁探测技术

  • 可同时测量SF6等多种示踪气体及VOC

  • 检测限低,测量精度高(ppb)

  • 测量响应快

  • 多点采样器,可扩展12-64个采样点

  • 无需预处理、无耗材、无载气

  • 可定制释放装置和管路


应用

  • 半导体制造设备通风性能检测(国际半导体协会SEMI S6标准)

  • SF6泄露检测


 
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